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直線(xiàn)電機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)勢(shì)不可擋
文章出處：同茂電子人氣： 發(fā)布時(shí)間：2018/1/26 15:11:55
直線(xiàn)電機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)勢(shì)不可擋，半導(dǎo)體設(shè)備正在往高速、高精度、高性能、和環(huán)保的方向發(fā)展。高精度和高速對(duì)傳動(dòng)及其控制提出了更高的要求，更高的動(dòng)態(tài)特性和控制精度，更高的速度和加速度，更低的振動(dòng)噪聲和更小的設(shè)備磨損。
于是出現(xiàn)了直接傳動(dòng)的概念，即取消從電動(dòng)機(jī)到工作部件之間的各種中間環(huán)節(jié)。隨著電機(jī)及其驅(qū)動(dòng)控制技術(shù)的發(fā)展，直線(xiàn)電機(jī)的技術(shù)的日益成熟，使主軸、直線(xiàn)和旋轉(zhuǎn)坐標(biāo)運(yùn)動(dòng)的直接傳動(dòng)概念變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)，并逐漸顯示其很大的優(yōu)越性。
采用直線(xiàn)電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的主要優(yōu)點(diǎn)：
1.速度性能好，速度偏差可達(dá)0.01%以下;
2.定位精度高。采用光柵閉環(huán)控制，定位精度可達(dá)0.1～0.01mm。應(yīng)用前饋控制的直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)可減少跟蹤誤差200倍以上。由于運(yùn)動(dòng)部件的動(dòng)態(tài)特性好，響應(yīng)靈敏，加上插補(bǔ)控制的精細(xì)化，可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)控制;
3.行程不受限制。傳統(tǒng)的絲杠傳動(dòng)受絲杠制造工藝限制，一般4～6m，更的行程需要接長(zhǎng)絲杠，無(wú)論從制造工藝還是在性能上都不理想。而采用直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，定子可加長(zhǎng)，且制造工藝簡(jiǎn)單;
4.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、噪聲小，運(yùn)動(dòng)部件摩擦小、磨損小、使用壽命長(zhǎng)、可靠。
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